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Fabrication-Tolerant Nitride Lattice Filter for CWDM

制作 薄脆饼 光学滤波器 氮化物 波分复用 光电子学 材料科学 晶圆制造 波长 滤波器（信号处理） 电子工程 格子（音乐） 工程类 电气工程 纳米技术 物理 声学 病理 医学 替代医学 图层（电子）
作者
Jaesung Lee,Tao Ling,Ravi S. Tummidi,Mark Webster,Prakash Gothoskar
出处
期刊： 日期：2021-01-01 卷期号：: Tu5B.2-Tu5B.2 被引量：2
标识
DOI：10.1364/ofc.2021.tu5b.2
摘要
We experimentally demonstrate an all-nitride passive 2-channel cascaded lattice filter with <1.7nm (6σ) wavelength variation across four CMOS wafers by implementing fabrication insensitive MZI design.
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