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An ultra-high low-frequency SPL piezoelectric MEMS loudspeaker based on sputtered PZT

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作者

Qincheng Zheng,Ke Cao,Chenyu Bai,Xudong Ma,Ning Deng,Yulang Cheng,Yao Lu,Huikai Xie

出处

期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
日期：2025-04-06 卷期号：389: 116551-116551 被引量：10

标识

DOI：10.1016/j.sna.2025.116551

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