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Beam-membrane MEMS capacitive pressure sensor characterized with segmented comb and lever amplification mechanism

杠杆微电子机械系统电容感应机制（生物学）材料科学压力传感器梁（结构）光电子学声学结构工程电气工程机械工程工程类物理量子力学

作者

Ruimei Liang,Pinghua Li,Yang Liu,Jiaqi Miao,Jialuo Liao,Xuye Zhuang

出处

期刊：Measurement [Elsevier]
日期：2025-03-05 卷期号：250: 117205-117205 被引量：1

标识

DOI：10.1016/j.measurement.2025.117205

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