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Study on the properties of Cr/CrxN films prepared by magnetron sputtering and ion implantation alternately

溅射沉积 材料科学 溅射 离子 高功率脉冲磁控溅射 腔磁控管 光电子学 分析化学（期刊） 化学 薄膜 纳米技术 色谱法 有机化学
作者
Feilong Wang,Shuo Wang,Zhiyu Chi,Junbo Niu,Xinghong Zhang,Huang Jin,Xinxin Ma
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2024-11-01 卷期号：: 113874-113874
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2024.113874
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