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Transfer Learning-Based Defect Detection System on Wafer Surfaces

薄脆饼学习迁移计算机科学工程类工程制图材料科学电子工程人工智能光电子学

作者

Shou-Lin Chu,Eugene Su,Chao-Ching Ho

出处

期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing [IEEE Computer Society]
日期：2025-01-01 卷期号：: 1-1 被引量：1

标识

DOI：10.1109/tsm.2025.3532897

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