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Calculation of oxide sputter yields

溅射 氧化物 材料科学 金属 能量（信号处理） 集合（抽象数据类型） 溅射沉积 结合能 无机化学 化学 计算机科学 纳米技术 冶金 薄膜 原子物理学 数学 物理 统计 程序设计语言
作者
Diederik Depla,Josja Van Bever
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2024-01-19 卷期号：222: 112994-112994 被引量：3
链接
handle.net ugent.be ugent.bedoi.org
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2024.112994
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