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Effects of HEC Concentration on Silicon Polishing

抛光 材料科学 羟乙基纤维素 磨料 硅 胶体 表面粗糙度 表面光洁度 化学工程 胶体二氧化硅 复合材料 冶金 纤维素 涂层 工程类
作者
Jin Yang,Shibin Lu,Haibo Wang,Min Fan,Xianwei Jiang,ZhongXiang Zhang
出处
期刊：Silicon [Springer Science+Business Media]
日期：2018-11-21 卷期号：11 (4): 2059-2066 被引量：6
标识
DOI：10.1007/s12633-018-0024-9
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