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Optimization of thermal field of 150 mm SiC crystal growth by PVT method

材料科学 Crystal（编程语言） 热的 晶种 晶体生长 领域（数学） 过程（计算） 复合材料 结晶学 单晶 计算机科学 数学 化学 热力学 物理 纯数学 程序设计语言 操作系统
作者
Shengtao Zhang,Guofeng Fan,Tie Li,Lili Zhao
出处
期刊：RSC Advances [The Royal Society of Chemistry]
日期：2022-01-01 卷期号：12 (31): 19936-19945 被引量：4
链接
rsc.org rsc.org nih.gov nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1039/d2ra02875a
摘要
The effects of thermal insulation adjustment, application of seed crystals with different diameters, and shelter structure on crystal growth process were studied, and 6-inch SiC crystal with single polytype, high quality was successfully prepared.
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