Single proof mass, 3 axis MEMS transducer

传感器 验证质量 微电子机械系统 声学 概念证明 计算机科学 物理 材料科学 光电子学 操作系统
作者
Andrew C. McNeil
出处
期刊:Journal of the Acoustical Society of America [Acoustical Society of America]
卷期号:117 (6): 3350-3350 被引量:2
标识
DOI:10.1121/1.1948235

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