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Deposition of μc-Si and μc-SiC thin films by remote plasma-enhanced chemical-vapor deposition
作者
G. Lucovsky,
Cheng Wang,
R. J. Nemanich,
M.J. Williams
出处
期刊：
Solar Cells
[Elsevier BV]
日期：1991-05-01
卷期号：30 (1-4): 419-434
被引量：13
标识
DOI：10.1016/0379-6787(91)90075-z
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