Porous silicon: A novel material for microsystems

多孔硅 微电子 材料科学 硅 蚀刻(微加工) 溶解 微系统 图层(电子) 纳米技术 多孔性 光电子学 复合材料 化学工程 工程类
作者
Walter Lang,Peter Steiner,H. Sandmaier
出处
期刊:Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
卷期号:51 (1): 31-36 被引量:76
标识
DOI:10.1016/0924-4247(95)01066-1

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