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A comparison of structures and properties of SiNx and SiOx films prepared by PECVD

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作者

Xiangdong Xu,Liangchang Zhang,Long Huang,Qiong He,Taijun Fan,Zhuo Yang,Yadong Jiang,Zhanping Li

出处

期刊：Journal of Non-crystalline Solids [Elsevier BV]
日期：2011-09-25 卷期号：358 (1): 99-106 被引量：14

标识

DOI：10.1016/j.jnoncrysol.2011.08.029

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