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Atomic layer deposition of titanium dioxide from TiCl4 and H2O: investigation of growth mechanism
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作者
Jaan Aarik,
Aleks Aidla,
Hugo Mändar,
Teet Uustare
出处
期刊：
Applied Surface Science
[Elsevier BV]
日期：2001-03-01
卷期号：172 (1-2): 148-158
被引量：227
标识
DOI：10.1016/s0169-4332(00)00842-4
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