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Self-neutralized ion implantation into insulators
作者
F. Liu,
O.R. Monteiro,
K. M. Yu,
I.G. Brown
出处
期刊:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms
[Elsevier BV]
日期:1997-10-01
卷期号:132 (1): 188-192
被引量:13
标识
DOI:10.1016/s0168-583x(97)00385-6
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