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Selective phosphorus doping of polycrystalline silicon on glass using self-assembled monolayer doping (MLD) and flash anneal
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作者
Glenn Packard,
Carolyn Spaulding,
Alex Taylor,
Karl D. Hirschman,
Scott Williams,
Santosh Kurinec
出处
期刊：
Materials Letters
[Elsevier BV]
日期：2021-08-31
卷期号：305: 130780-130780
被引量：6
链接
sciencedirect.com
doi.org
标识
DOI：10.1016/j.matlet.2021.130780
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