ETRI 0.25 ㎛ GaN MMIC 공정 및 X-대역 전력증폭기 MMIC

본 논문에서는 한국전자통신연구원(ETRI)에서 구축한 0.25 ㎛ GaN MMIC 공정 및 소자특성을 소개하고, 이를 이용한 X-대역 3 W GaN 전력증폭기 MMIC 설계 · 제작 결과를 논의한다. X-대역 동작에 적합한 GaN HEMT 소자를 선정하여 GaN 전력증폭기 MMIC를 1단으로 설계하고 제작하였으며, 이를 통하여 ETRI 0.25 ㎛ GaN MMIC 공정 및 특성을 평가하고 분석하였다. X-대역 GaN 전력증폭기 MMIC 제작 결과, 출력전력 3.5 W, 이득 10 ㏈ 및 전력부가효율 35 % 특성을 얻었다.