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Theoretical and experimental research on nanosecond laser cleaning of SiO2 particles on silicon wafer surface

硅 材料科学 薄脆饼 基质（水族馆） 混合硅激光器 激光器 粒子（生态学） 表面粗糙度 光电子学 光学 复合材料 海洋学 物理 地质学
作者
Lifang Mei,Lin Liu,Dongbing Yan,Hongwei Tian,Liang Yu,Shuixuan Chen
出处
期刊：The International Journal of Advanced Manufacturing Technology [Springer Nature]
日期：2023-12-12 卷期号：130 (3-4): 1693-1708
标识
DOI：10.1007/s00170-023-12767-2
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