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Structural and tribomechanical properties of Cr-DLC films deposited by reactive high power impulse magnetron sputtering

高功率脉冲磁控溅射材料科学表面粗糙度溅射沉积偏压溅射分析化学（期刊）摩擦学离子硅表面光洁度复合材料薄膜电压冶金纳米技术化学电气工程工程类有机化学色谱法

作者

Jun Zheng,Jiale Shang,Wenjian Zhuang,Ji Cheng Ding,Haijuan Mei,Ying Yang,Songlin Ran

出处

期刊：Vacuum [Elsevier]
日期：2024-09-03 卷期号：230: 113611-113611 被引量：3

标识

DOI：10.1016/j.vacuum.2024.113611

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