Heavy ion irradiation induced phase transitions and their impact on the switching behavior of ferroelectric hafnia

哈夫尼亚 铁电性 材料科学 光电子学 非易失性存储器 辐照 晶体管 电介质 电气工程 电压 陶瓷 工程类 立方氧化锆 物理 复合材料 核物理学 冶金
作者
Maximilian Lederer,Tobias Vogel,Thomas Kämpfe,Nico Kaiser,Eszter Piros,Ricardo Olivo,Tarek Ali,Stefan Petzold,David Lehninger,C. Trautmann,Lambert Alff,Konrad Seidel
出处
期刊:Journal of Applied Physics [American Institute of Physics]
卷期号:132 (6) 被引量:8
标识
DOI:10.1063/5.0098953
摘要

The discovery of ferroelectric hafnium oxide enabled a variety of non-volatile memory devices, like ferroelectric tunnel junctions or field-effect transistors. Reliable application of hafnium oxide based electronics in space or other high-dose environments requires an understanding of how these devices respond to highly ionizing radiation. Here, the effect of 1.6 GeV Au ion irradiation on these devices is explored, revealing a reversible phase transition, as well as a grain fragmentation process. The collected data demonstrate that non-volatile memory devices based on ferroelectric hafnia layers are ideal for applications where excellent radiation hardness is mandatory.

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