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Tailoring surface properties and optoelectronic response of Ga2O3 films through advanced surface state engineering

钝化 光电流 氩 材料科学 溅射 等离子体 响应度 氧气 光电子学 表面改性 表面状态 离子 光电探测器 工作职能 分析化学（期刊） 暗电流 空位缺陷 电离 薄膜 载流子寿命 光电导性 半导体 惰性气体 退火（玻璃） 氢 化学 电极
作者
Jialin Ge,Rui Deng,Yongfeng Li,Dayong Jiang
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2025-10-28 卷期号：719: 165035-165035 被引量：2
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2025.165035
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