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3D nanolithography with metalens arrays and spatially adaptive illumination

作者
Songyun Gu,Chenkai Mao,Anna Güell Izard,Sarvesh A. Sadana,Dongping Terrel‐Perez,Magi Mettry,Won Jin Choi,Wenjie Zhou,Hujie Yan,Ziran Zhou,Travis L. Massey,Alex Abelson,You Zhou,Sijia Huang,Chiara Daraio,T. U. Tumkur,Jonathan A. Fan,Xiaoxing Xia
出处
期刊：Nature [Springer Nature]
日期：2025-12-17 卷期号：648 (8094): 591-599 被引量：2
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1038/s41586-025-09842-x
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