3D nanolithography with metalens arrays and spatially adaptive illumination

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作者
Songyun Gu,Chenkai Mao,Anna Güell Izard,Sarvesh A. Sadana,Dongping Terrel‐Perez,Magi Mettry,Won Jin Choi,Wenjie Zhou,Hujie Yan,Ziran Zhou,Travis L. Massey,Alex Abelson,You Zhou,Sijia Huang,Chiara Daraio,T. U. Tumkur,Jonathan A. Fan,Xiaoxing Xia
出处
期刊:Nature [Nature Portfolio]
卷期号:648 (8094): 591-599 被引量:17
标识
DOI:10.1038/s41586-025-09842-x
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