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Effect of in-situ ozone annealing on top-gate atomic layer deposited InZnOx channel thin-film transistors on various underlying dielectric layers

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作者
Guan-Han Lin,Yixiao Li,Yu Chen,Henglong Yang,Chien-Wei Chen,Tsung-Te Chou,Chi‐Chung Kei,Wen-Yueh Jang,Shou-Zen Chang,Edward-Yi Chang,Chun-Hsiung Lin
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2025-10-24 卷期号：202: 110176-110176
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2025.110176
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