材料科学
退火(玻璃)
光电子学
X射线光电子能谱
栅极电介质
薄膜晶体管
电介质
原子层沉积
晶体管
臭氧
图层(电子)
氧化物
电子迁移率
高-κ电介质
阈下传导
阈下摆动
纳米技术
分析化学(期刊)
电极
栅氧化层
阈值电压
氧化物薄膜晶体管
氧气
作者
Guan-Han Lin,Yixiao Li,Yu Chen,Henglong Yang,Chien-Wei Chen,Tsung-Te Chou,Chi‐Chung Kei,Wen-Yueh Jang,Shou-Zen Chang,Edward-Yi Chang,Chun-Hsiung Lin
标识
DOI:10.1016/j.mssp.2025.110176
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI