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A green scheduling model for two-stage photo-etching and acid-etching collaboration in semiconductor manufacturing

蚀刻(微加工) 半导体 调度(生产过程) 半导体器件制造 材料科学 光电子学 阶段(地层学) 纳米技术 工程类 运营管理 地质学 古生物学 薄脆饼 图层(电子)
作者
Min Kong,Yajing Zhang,Jin Xu,Weizhong Wang,Shaojun Lu,Amir M. Fathollahi‐Fard
出处
期刊:Journal of Industrial Information Integration [Elsevier BV]
卷期号:41: 100655-100655 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.jii.2024.100655

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