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Energetiq Technology: EUV sources from Energetiq

极紫外光刻 极端紫外线 放气 光源 光学 抵抗 物理 计算机科学 材料科学 天文 纳米技术 激光器 图层(电子)
作者
Samuel Gunnell,Mae Steinberg
标识
DOI:10.1117/12.2584908
摘要

Energetiq's EUV light sources are the industry standard source for EUV infrastructure RD, inspection, resist development, outgassing, mirror testing, and more. The Electrodeless Z-Pinch EUV Source is a reliable and stable source of EUV photons and is being operated in the field 24/7 with consistent operation over many years. This video focuses on Energetiq's EQ-10HP light source. For product information visit www.energetiq.com or email info@energetiq.com to discuss your application.

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