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Study on reactive sputtering of yttrium oxide: Process and thin film properties

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作者
Pei Lei,Wouter Leroy,Bing Dai,Jiaqi Zhu,Xiaoting Chen,Jiecai Han,Diederik Depla
出处
期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier]
日期：2015-06-30 卷期号：276: 39-46 被引量：52
链接
handle.netdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.surfcoat.2015.06.052
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