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Preparation of AlN thin film and the impacts of AlN buffer layer on the carrier transport properties of p-NiO/n-InN heterojunction by magnetron sputtering
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作者
Wenbo Peng,
Yijian Zhou,
Guojiao Xiang,
Yue Liu,
Jiahui Zhang,
Jinming Zhang,
Haoxuan Huang,
Mengyan Mei,
Hui Wang,
Yang Zhao
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2021-12-21
卷期号：141: 106417-106417
被引量：12
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2021.106417
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