Wafer-scale single-orientation 2D layers by atomic edge-guided epitaxial growth

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作者
Yi Wan,Jui‐Han Fu,Chih‐Piao Chuu,Vincent Tung,Yumeng Shi,Lain‐Jong Li
出处
期刊:Chemical Society Reviews [Royal Society of Chemistry]
卷期号:51 (3): 803-811 被引量:35
标识
DOI:10.1039/d1cs00264c
摘要

Two-dimensional (2D) layered materials hold tremendous promise for post-Si nanoelectronics due to their unique optical and electrical properties. Significant advances have been achieved in device fabrication and synthesis routes for 2D nanoelectronics over the past decade; however, one major bottleneck preventing their immediate applications has been the lack of a reproducible approach for growing wafer-scale single-crystal films despite tremendous progress in recent experimental demonstrations. In this tutorial review, we provide a systematic summary of the critical factors-including crystal/substrate symmetry and energy consideration-necessary for synthesizing single-orientation 2D layers. In particular, we focus on the discussions of the atomic edge-guided epitaxial growth, which assists in unidirectional nucleation for the wafer-scale growth of single-crystal 2D layers.
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