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Novel multilayered Ti/TiN diffusion barrier for Al metallization
作者
Wen-Fa Wu,
Kou-Chiang Tsai,
Chuen-Guang Chao,
Jen-Chung Chen,
Keng‐Liang Ou
出处
期刊:
Journal of Electronic Materials
[Springer Science+Business Media]
日期:2005-08-01
卷期号:34 (8): 1150-1156
被引量:34
标识
DOI:10.1007/s11664-005-0244-9
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