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Displacement amplification of piezoelectric microactuators with a micromachined leverage unit

表面微加工执行机构杠杆材料科学微电子机械系统微执行器阻力声学压电层流翼型悬臂梁机械工程制作工程类结构工程电气工程光电子学航空航天工程物理复合材料医学替代医学病理

作者

Christian Bolzmacher,Karin Bauer,U. Schmid,Moustapha Hafez,H. Seidel

出处

期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
日期：2009-10-23 卷期号：157 (1): 61-67 被引量：22

标识

DOI：10.1016/j.sna.2009.10.014

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