Parametric studies on pulsed near ultraviolet frequency tripled Nd:YAG laser micromachining of sapphire and silicon

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作者
Tai-Chang Chen,Robert B. Darling
出处
期刊:Journal of Materials Processing Technology [Elsevier BV]
卷期号:169 (2): 214-218 被引量:74
标识
DOI:10.1016/j.jmatprotec.2005.03.023
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