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Optical compensation in ECDL with MEMS
微电子机械系统
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作者
Tianye Zhao,
Zhipeng Wei,
Yongyi Chen,
Yuxin Lei,
Yue Song,
Lei Liang,
Yixuan Chang,
Yunxia Guo,
Qin Li,
Lijun Wang
标识
DOI:10.1117/12.3075973
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