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作者
Chia-Lung Kuo,
Chin‐Ta Chen,
Chao-Ching Ho
出处
期刊：
Micro and nano engineering
[Elsevier BV]
日期：2025-06-01
卷期号：: 100306-100306
链接
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标识
DOI：10.1016/j.mne.2025.100306
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