Exploration on the growth of Bi2O2Se films and nanosheet by an ALD-assisted CVD method

材料科学 纳米片 化学气相沉积 基质(水族馆) 氧化物 化学工程 图层(电子) 纳米技术 制作 冶金 海洋学 工程类 地质学 医学 替代医学 病理
作者
Jie Yang,Rui Jiang,Chang Chen,Junhui Chen,Zixin Cao,Yawei Li,Liyan Shang,Kai Jiang,Jinzhong Zhang,Liangqing Zhu,Zhigao Hu,Junhao Chu
出处
期刊:Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Nature]
卷期号:34 (9) 被引量:1
标识
DOI:10.1007/s10854-023-10207-1
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