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pH-driven interfacial bond dynamics enable high-efficiency low-damage polishing of fused silica with CeO2 based slurries

抛光泥浆材料科学化学机械平面化债券动力学（音乐）复合材料冶金业务财务声学物理

作者

Fukun Li,Yang Bai,Haixiang Hu,Guanbo Qiao,Lingzhong Li,Feng Zhang,Xuejun Zhang

出处

期刊：Journal of Materials Processing Technology [Elsevier BV]
日期：2025-05-01 卷期号：: 118896-118896 被引量：1

标识

DOI：10.1016/j.jmatprotec.2025.118896

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