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计量学 薄脆饼 椭圆偏振法 过程控制 材料科学 过程（计算） 计算机科学 工艺工程 光电子学 纳米技术 光学 工程类 薄膜 物理 操作系统
作者
Hyukjoon Cho,Yong-Ju Jeon,Jhongkwon Kim,Jinwoo Ahn,Jae‐Won Lee,Taeyong Jo,Juntaek Oh,Changhyeong Yoon,Jaehyeon Son,Eun-Soo Hwang,Donggun Lee,Seunga Lim,Jichul Shin,Jin‐Soo Lee,Jihye Lee,Seul-Ki Kim,Jongmin Roh,Sun‐Hong Ann,Dae Sung Park,Jeongmin Ha
标识
DOI：10.1117/12.3051267
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