A Piezoelectric MEMS Vector Hydrophone Based on Sc0.2Al0.8N

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作者
Haoyue Zhang,Zhenjun Liu,B.L. Xiao,Bo Wu,Zhenghu Zhang,Qiang Ping,Lijun Qiu,Liang Lou
出处
期刊:IEEE Transactions on Electron Devices [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:: 1-7
标识
DOI:10.1109/ted.2025.3560926
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