NIL solutions using computational lithography for semiconductor device manufacturing

平版印刷术 半导体器件制造 半导体 材料科学 计算机科学 光电子学 工程物理 纳米技术 工程类 薄脆饼
作者
Sentaro Aihara,Kenji Yamamoto,Yukio Nakano,H. Kijima,Satoru Jimbo,H. B. Evans,Shingo Ishida,Masayoshi Fujimoto,Shota Takami,Yuichiro Oguchi,Junichi Seki,Toshiya Asano,Osamu Morimoto
标识
DOI:10.1117/12.3009839
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
刚刚
小古完成签到,获得积分10
1秒前
缥缈傥发布了新的文献求助10
2秒前
随心发布了新的文献求助10
3秒前
泡沫发布了新的文献求助10
4秒前
万能图书馆应助喜悦采纳,获得10
4秒前
刘婧发布了新的文献求助10
4秒前
Russell发布了新的文献求助10
6秒前
研友_LNMmW8发布了新的文献求助30
6秒前
7秒前
8秒前
Yina完成签到 ,获得积分10
8秒前
10秒前
我唉科研完成签到,获得积分10
10秒前
13秒前
子不语发布了新的文献求助10
14秒前
CipherSage应助刘婧采纳,获得10
14秒前
李爱国应助DJ采纳,获得10
15秒前
huangwenyu完成签到,获得积分10
15秒前
water应助环糊精采纳,获得10
15秒前
小轩发布了新的文献求助10
16秒前
三颗星南极三完成签到,获得积分20
17秒前
车车完成签到,获得积分10
18秒前
跳跃的洋葱完成签到 ,获得积分10
19秒前
随心完成签到,获得积分10
20秒前
Pluto完成签到,获得积分10
21秒前
家雁菱发布了新的文献求助50
21秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
22秒前
zsl完成签到,获得积分10
22秒前
阿俊1212完成签到,获得积分10
22秒前
北岭雪兮完成签到 ,获得积分10
22秒前
23秒前
can完成签到,获得积分10
23秒前
脑洞疼应助MQRR采纳,获得10
24秒前
吮指鸡完成签到,获得积分10
27秒前
猪猪hero发布了新的文献求助10
27秒前
28秒前
yxl01yxl完成签到,获得积分10
28秒前
Akim应助submarines采纳,获得20
30秒前
Akim应助wmj采纳,获得10
33秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
Indomethacinのヒトにおける経皮吸収 400
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
基于可调谐半导体激光吸收光谱技术泄漏气体检测系统的研究 330
Composite Predicates in English 300
Aktuelle Entwicklungen in der linguistischen Forschung 300
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3982338
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3525951
关于积分的说明 11229459
捐赠科研通 3263804
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1801680
邀请新用户注册赠送积分活动 879972
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 807750