Application of RIE-Technology to Control Responsivity of 4H-SiC Photodiodes

响应度 光电二极管 光电子学 控制(管理) 工程物理 材料科学 计算机科学 物理 光电探测器 人工智能
作者
Andrei Afanasev,V. V. Zabrodskiy,Vladimir A. Ilyin,В. В. Лучинин,Andrei V. Nikolaev,A V Serkov,V. V. Trushlyakova,Д. А. Чигирев
出处
期刊:Semiconductors [Pleiades Publishing]
卷期号:57 (11): 469-473
标识
DOI:10.1134/s1063782623080018
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