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Revealing the Magnetron Sputtering of GeSe Thin Films: From Discharge Characteristics to Thin Film Properties

作者

Wenyi Zhang,Haifeng Wu,Jiaye Chen,Fengjiao Yu,Rong Xu,Mengjie Li,Qing Shen,Ruixiang Wang

出处

期刊：Surfaces and Interfaces [Elsevier BV]
日期：2025-11-01 卷期号：: 108014-108014

标识

DOI：10.1016/j.surfin.2025.108014

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