Formation mechanisms of Si 3 N 4 and Si 2 N 2 O in silicon powder nitridation

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作者
Yao Gui-sheng,Yong Li,Peng Jiang,Xiuming Jin,Menglong Long,Haixia Qin,Rajesh Kumar
出处
期刊:Solid State Sciences [Elsevier BV]
卷期号:66: 50-56 被引量:35
标识
DOI:10.1016/j.solidstatesciences.2017.03.002
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