Wet scandium etching for hard mask formation on a silicon substrate

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作者
Julia Bondareva,E. R. Timofeeva,Alexandr Anikanov,Maxim Krasilnikov,М.В. Шибалов,Vasiliy Sen',A. M. Mumlyakov,Stanislav A. Evlashin,Mikhail Tarkhov
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:762: 139543-139543 被引量:2
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2022.139543

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