Electromigration in copper damascene interconnects: reservoir effects and failure analysis

电迁移 铜互连 材料科学 扩散 空位缺陷 冶金 复合材料 凝聚态物理 热力学 物理
作者
Wei Shao,A. V. Vairagar,Chih-Hang Tung,Zeliang Xie,Ahila Krishnamoorthy,Subodh G. Mhaisalkar
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
卷期号:198 (1-3): 257-261 被引量:29
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2004.10.090
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