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Simulation of plasma properties in magnetron sputtering for two kinds of cathode targets

阴极 多物理 等离子体 阳极 电场 电子 腔磁控管 原子物理学 材料科学 热阴极 二次排放 溅射 电气工程 物理 有限元法 工程类 薄膜 纳米技术 核物理学 电极 热力学 量子力学
作者
Di-zhou Guo,Shuangkai Chen,Yongsheng Ma
出处
期刊：Radiation detection technology and methods [Springer Science+Business Media]
日期：2020-01-04 卷期号：4 (1): 10-16 被引量：4
标识
DOI：10.1007/s41605-019-00157-w
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