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Modification of the sheet resistance under Ti/Al/Ni/Au Ohmic contacts on AlGaN/GaN heterostructures

欧姆接触 材料科学 异质结 接触电阻 退火（玻璃） 金属 薄板电阻 光电子学 半导体 复合材料 图层（电子） 冶金
作者
Monia Spera,Cristina Miccoli,Raffaella Lo Nigro,Corrado Bongiorno,D. Corso,Salvatore Di Franco,Ferdinando Iucolano,Fabrizio Roccaforte,Giuseppe Greco
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2017-12-09 卷期号：78: 111-117 被引量：14
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2017.11.042
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