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Plasma-enhanced chemical vapour deposition of microcrystalline silicon: on the dynamics of the amorphous-microcrystalline interface by optical methods
作者
R. Rizzoli C. Summonte
出处
期刊：
Philosophical Magazine B-physics of Condensed Matter Statistical Mechanics Electronic Optical and Magnetic Properties
[Taylor & Francis]
日期：2000-04-01
卷期号：80 (4): 459-473
标识
DOI：10.1080/014186300255113
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