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Comparison of microstructure and mechanical properties of chromium nitride-based coatings deposited by high power impulse magnetron sputtering and by the combined steered cathodic arc/unbalanced magnetron technique
作者
Arutiun Papken Ehiasarian,
P.Eh. Hovsepian,
Lars Hultman,
Ulf Helmersson
出处
期刊:
Thin Solid Films
[Elsevier BV]
日期:2004-05-12
卷期号:457 (2): 270-277
被引量:227
链接
ac.uk
doi.org
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2003.11.113
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