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Temperature dependence of the mechanical properties of amorphous carbon films deposited by magnetron sputtering

材料科学退火（玻璃）溅射沉积石墨无定形固体大气温度范围碳膜薄膜无定形碳复合材料拉曼光谱结晶学溅射纳米技术光学化学热力学物理

作者

A. A. Onoprienko,I. B. Yanchuk

出处

期刊：Powder Metallurgy and Metal Ceramics [Springer Nature]
日期：2006-03-01 卷期号：45 (3-4): 190-195 被引量：15

标识

DOI：10.1007/s11106-006-0062-5

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