Demonstration of a compact and broadband silicon nitride multimode interference coupler enabled by guided inverse design

光学 材料科学 宽带 氮化硅 光电子学 干扰（通信） 反向 多模光纤 折射率 硅 反问题 集成光学 耦合模理论 光纤 相位匹配 硅光子学 光通信 电子束光刻 相位调制 导模共振 光环行器 带宽（计算） 导波测试 逆散射问题 衍射光栅 光纤布拉格光栅 非线性光学 信号处理 反射率 氮化物