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MEMS Materials and Processes Handbook
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作者
Reza Ghodssi,
Pinyen Lin
出处
期刊：MEMS reference Shelf
日期：2011-01-01
被引量：236
标识
DOI：10.1007/978-0-387-47318-5
摘要
MEMs Materials and Processes Handbook" is a comprehensive reference for researchers searching for new materials, properties of known materials, or specific processes available for MEMS fabrication. Th
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