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Low-damage precision slicing of SiC by simultaneous dual-beam laser-driven crack expansion of silicon carbide

材料科学 碳化硅 薄脆饼 复合材料 激光器 基质（水族馆） 瞬态（计算机编程） 切片 压力（语言学） 可扩展性 应力场 半导体器件 碳化物 激光烧蚀 工作（物理） 热的 半导体 异步通信 机械工程 材料性能 光电子学 断裂力学 硅 还原（数学） 内应力 结构工程 电子工程 集成电路 热膨胀
作者
Xiaozhu Xie,Hao Xiong,Kaijun Lv,Ziyu He,Hao Zeng,Yajun Huang
出处
期刊：Optics and Laser Technology [Elsevier BV]
日期：2025-09-23 卷期号：192: 113960-113960 被引量：4
标识
DOI：10.1016/j.optlastec.2025.113960
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